SVS product

Scientific Value Solutions Corp

MSX 2000

Modular Spin Multiprocess

System overview
ApplicationSemiconductor, SiC
Resist, PI Coating/Developing
Wafer size6"/ 8"
SubstrateSi, SiC, Glass
Features• Small footprint
• High throughput
• Reduced chemical consumption
• Better performance
• Include CES (4cassette)

SVS COMPANY

SVS의 장비를 국내,외 메이저 반도체 칩 제조사들이 도입하여
양산 장비로 운용 함으로써 기술적 우수성과 신뢰성을 인정 받고 있습니다.