SVS product

Scientific Value Solutions Corp

SSP 300

Stand-alone Spin Process

System overview
ApplicationPVA Coating
Wafer size6"/8′′
SubstrateRing frame
Features• SECS/GEM communication
• Onboard Windows-based PC control
• Convenience GUI environment operation
• Chip protection spin coater before sawing

SVS COMPANY

SVS의 장비를 국내,외 메이저 반도체 칩 제조사들이 도입하여
양산 장비로 운용 함으로써 기술적 우수성과 신뢰성을 인정 받고 있습니다.